Đèn đồng trục có độ chính xác cao COH

Độ phân giải cao
Sáng gấp 4 lần so với CO2 thông thường
Giảm bóng của vật thể có độ phản chiếu cao

Các ứng dụng
Phát hiện khuyết tật của các thành phần có độ chính xác cao
Đo kích thước chính xác cao
Phát hiện khuyết tật bề mặt chip
Đo kích thước wafer và phát hiện khuyết tật
Phát hiện bám bẩn các thành phần thiết bị y tế chính xác